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인사말

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UPW Boron Analyzer
UPW 내 붕소(B; Boron)를 ppt 수준의 극미량(LOD: 15ppt)까지 온라인으로 모니터링 가능
제품정보
카테고리 : 수질분석장비 > 현장용 > Boron
Maker : Sievers
SIEVERS UPW Boron Analyzer혁신적인 Sievers UPW Boron Analyzer는 탈이온화 초순수 공정에서 1조 분의 1 수준으로boron의 계속적인 모니터링이 가능한 최초의 온라인 장비입니다.
 
이 분석기는 최신 Fab 기술 중에 오염물 통제를 하는데 사용되며, 특히 설비관리자, 초순수 엔지니어, Fab 프로세스 엔지니어의 요구를 만족시킬 수 있도록 디자인 되었습니다.
 
오늘날 Fab에서의 오염물 통제와 비용절약을 위해서 boron을 통제하는 것이 전세계적으로 최신 수질관리 기술의 핵심이 되고 있습니다.
 
오직 Sievers의 UPW Boron Analyzer만이 초순수 이온교환 시스템의 관리와 품질 향상에 도움을 드릴 것입니다.
 
▣ 기본 정보
  Multi-Steam Options
 
  Part-Per-Trillion Sensitivity
 
  Extensive Suite of Outputs 
 
  반도체 초순수 공정
 
  초순수 Power Applications
▣ 제품 사양
측정 범위 : 0.015 to 20 ppb B
정량 한계 : 0.05 ppb B
검출 한계 : 0.015 ppb B
Accuracy : + 0.01 ppb B < 0.05 ppb B; ± 15% ≥ 0.05 ppb B
Precision : ± 3% or 0.005 ppb B, whichever is greater
최소샘플저항 : 15MΩ-cm
샘플 온도 : 15 ~ 40°C 
샘플 유속  : 0.05 ~ 0.5 L/min
샘플 압력 : 20 ~ 100 psig 
교정안정성 : 일반적으로 12개월
샘플 입자 : 15 micron sample pre-filtration
치수 : 21.1H x 17.4W x 13.1D in (54 x 45 x 34 cm)
무게 : 48 lbs (22 kg)

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